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VPO-300快速退火炉

描述:VPO-300快速退火炉
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉,有非常大的退火空间,适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理。

更新时间:2020-10-31
产品型号:qirui
访问次数:135
详情介绍
品牌自营品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,能源,电子,印刷包装,电气

VPO-300快速退火炉

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。VPO-300是一款很有特点的快速退火炉,有非常大的退火空间,适合12英寸晶圆或300mm x 300mm大尺寸样品的热处理。

仪器特点:
  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA;
  -  可在真空、甚至于高真空环境使用;
  -  加热区域尺寸:300毫米 X 300毫米;
  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm x 156mm电池片,300mm x 300mm电池片等;

仪器特点:
  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA;
  -  可在真空、甚至于高真空环境使用;
  -  加热区域尺寸:300毫米 X 300毫米;
  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm x 156mm电池片,300mm x 300mm电池片等;

 

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