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电阻式热蒸发镀膜机

描述:VS5电阻式热蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。

更新时间:2020-11-01
产品型号:qirui
访问次数:107
详情介绍
品牌自营品牌产地类别进口
应用领域化工,能源,电子,印刷包装,电气

电阻式热蒸发镀膜机

VS5电阻式热蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。

VS5电阻式热蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。

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技术规格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋转:0~10rpm;
- 热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源;
- 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
- 泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持;
- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
- 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

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