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牛津电子束镀膜机可实现全自动蒸发过程

 发布时间:2022-09-19 点击量:15
  牛津电子束镀膜机采用电子束加热,不用坩埚上的片作为蒸发源,可以稳定地形成多层薄膜;利用我公司特有的比例控制方法和多点在线监测,可以形成高精度、稳定的光学多层膜;可以使用可操作性好的电梯来取出基板伞架。
  电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术;它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。
  牛津电子束镀膜机采用均匀分布的高离子电流密度离子源,配备双电子枪,可在多点和环形坩埚中镀100层以上,采用自动蒸发控制系统实现全自动蒸发过程,工件架可以是钟罩式或行星式。
  电子束镀膜机薄膜测试标准:
  1.初始接触角范围为115°±5°;
  2.钢丝绒摩擦阻力测试标准:使用0000#钢丝绒,面积10*10mm,行程40次/min,负载1Kg,往返摩擦5000次后接触角大于100°;
  3.皮擦测试标准:直径6mm皮擦,行程25次/min,负载1Kg,往返摩擦2500次后接触角大于100°;
  备注:试样的玻璃应是经过抛光的触摸屏盖板专用玻璃,表面光滑。
  牛津电子束镀膜机优点:
  1.提高沉积速率以获得更高的产量;
  2.在半导体、光电子和光子学领域实现高精度工艺;
  3.坚固耐用,易于维护。
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