牛津电子束镀膜机是一种高科技的表面处理设备，通过高能电子束在物质表面形成稳定而均匀的涂层，从而提高材料本身的耐磨、耐腐蚀、保护环境等方面的性能。这种设备广泛应用于航空航天、汽车、电子、仪器仪表等领域。
牛津电子束镀膜机是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。牛津电子束镀膜机的核心技术是电子束物理学。其原理是将一束速度极快的电子流聚焦成微小的束，并使它以高速度轰击物体表面，在产生的瞬间高温和大气压力下，物质表面便会产生化学反应，从而形成一层均匀致密的涂层。
牛津电子束镀膜机技术规格包括基底尺寸(3英寸，4英寸，6英寸)、基底旋转(0~10rpm)、电子束源(Telemark电子束源，单袋或多袋电子束源可选)、热蒸发源(多配置2套热蒸发舟)等。这种设备台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。
需要注意的是，使用牛津电子束镀膜机时，应严格遵守设备操作规程，确保安全操作。
