维护和保养
牛津电子束镀膜机需要遵循一系列详细的步骤和注意事项，以下是一些关键步骤和建议：
一、日常清洁与保养
1.外部清洁：保持设备外表面干净，每天使用后应及时清洁。
2.内部清洁：定期清洁真空室，避免污染物积累影响镀膜质量。清洁时，应按照设备使用说明书中所列出的清洁方法及洗涤液进行清洗，注意避免使用酸、碱等腐蚀性强的洗涤液。例如，可以每完成200个镀膜程序以上，用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，再用清水清洗，最后用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。清洁后，尽量抹干并烘干，确保真空室内部干燥。烘干后再镀膜，头一炉应比原来延长四倍时间。
3.胶封检查：经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂，以保持密封性能。
二、油液与滤清器管理
1.更换泵油：定期更换扩散泵油、真空泵及罗茨泵油，确保泵体正常运行。更换前需确认真空度和油温状态，避免产生安全问题。例如，更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1×10?Pa，且扩散泵里面的油温是否冷却到常温状态。
2.滤清器更换：设备内部滤清器需要定期更换，以避免灰尘、杂质等对设备正常工作产生影响。
三、电气与机械系统检查
1.电气元件检查：定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的元器件，确保电路正常运行。
2.紧固件检查：定期检查牛津电子束镀膜机上各种紧固件，如螺母、螺栓、螺钉等，确保其足够紧固。
3.机械系统检查：定期检查水路、气路是否正常，确保无漏滴现象。检查镀膜机进气系统，确保其正常工作，重新校正进气系统参数并具体监测进气风机的运行状况。
四、系统状态与维护
1.保持真空状态：平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，避免真空室长期暴露在大气中。
2.冷却系统管理：在寒冷季节或长时间停机时，需用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体，以免冻裂。同时，设备在工作过程中不得断水，且采用的冷却水必须清洁，不得使用硬水或浊水，否则会使冷却水管沉积一层水垢，影响冷却效果。
3.设备校正：在日常保养与定期保养的基础上，按照设备使用说明中的方法，对设备进行全面校准以确保其正常工作。
4.记录信息：在使用过程中，如实记录必要的信息，如开机时腔体的真空度、蒸镀前所抽至的较低真空度等。
五、安全操作与应急处理
1.着装要求：操作人员应穿着整洁，袖口扣紧，避免穿戴拖鞋、高跟鞋等可能影响安全的服饰。
2.操作规程：在操作过程中，应严格遵守设备操作规程和安全操作规程。镀膜完成后，按照正确的顺序关闭设备，如先关闭电子束高压开关，再关闭总电源等。
3.应急处理：设备中途停水、停气或停电时，应立即采取相应措施，如关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵等，让维持泵继续运行，以保护设备。
维护和保养牛津电子束镀膜机需要综合考虑多个方面，包括日常清洁、油液与滤清器管理、电气与机械系统检查、系统状态与维护以及安全操作与应急处理等。通过遵循这些步骤和建议，可以确保设备的稳定运行和延长使用寿命。
