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QRUI-2系列探针台

描述:QRUI-2系列探针台:一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计 ,结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节 ,显微镜放大倍率高 ,操作方便。

更新时间:2022-09-06
产品型号:
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详情介绍
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QRUI-2系列探针台产品简介:

     是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计 ,结构稳定。显微镜平移台可进

行X-Y-Z方向精密位移调节 ,显微镜放大倍率高 ,操作方便。同时支持多种功能的升级 ,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用。


QRUI-2系列探针台产品优势:

     显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。 Platen三阶抬杆,便于样品和探针快速分离 ,也可以用于探针卡的扎针。可升级性强 ,最高可升级 220G 高频 ,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。载物台气浮快速移动,可快速定位测试样品


详细参数:

 

术参数

产品型

QRUI-2-100

QRUI-2-150

QRUI-2-200

QRUI-2-300

 

 

 

电压电流(可定制)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

材料

航空铝

自适减震系统

具备自适应减震系统      一定程度上可防止外界震动的干扰

卡盘大小

4" ,360度转动, 可微调

6",360 度转动  ,可微调

8",360 度转动,可微调

12",360 度转动 ,可微

卡盘行程和精度

4"*4"  ,精度 1um气浮快速移动

6"*6"  ,精度 1um气浮快速移动

8"*8"  ,精度  1um气浮快速移动

12"*12  ,精度 1um气浮快速移动

卡盘升降功能

ChuckZ轴升降10mm,精度为1um

卡盘吸附方式

真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附   (适用于薄片或者射频器件)

背电极测试功能

样品台电学独立悬空   4mm 香蕉头插口

U 型平台  ,镀镍  与探针座之间具备更强吸附力

升降

三阶抬杆,接触,分离和架杆;微调行程为30mm,分辨率为1um

最多可放置4~6个探针座

最多可放置8~10个探针座

 

 系统

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

率范围

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高性龙门架结构  气动升降   XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ,   精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500万像素  ,帧率 60fps ,带拍照/录像/测量功能

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

电精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

力需求

220V/50HZ

详细配置方案可讨论后给


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