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QRUI-3 系列探针台

描述:QRUI-3 系列探针台:一款高配置综合型手动测试探针台, 该系列探针台设备配置丰富 ,基本可以满足一般实验室的全部测试要求。

更新时间:2022-09-06
产品型号:
访问次数:64
详情介绍
品牌自营品牌

QRUI-3 系列探针台产品简介:

        是一款高配置综合型手动测试探针台, 该系列探针台设备配置丰富 ,基本可以满足一般实验室的全部测试要求。其样品台可以360度快速移动 ,便于快速定位样品位置 ,提高测试效率。并且具备载物台气浮快速移动三挡控制 ,快速实现器件定位;另platen抬杆功能,不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。这样就使的此设备在使用探针卡测试的时候非常方便。 此设备一般适用于大型实验室或者半导体工厂。


产品优势:

显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。

Platen二阶抬杆,便于样品和探针快速分离 ,也可以用于探针卡的扎针。

可升级性强 ,最高可升级 220G 高频 ,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等

载物台气浮快速移动,可快速定位测试样品,三挡控制,X,Y,XY方向,可实现单方向移动


QRUI-3 系列探针台详细参数:

 

术参数

产品型

QRUI-3-150

QRUI-3-200

QRUI-3-300

 

 

 

针台

电压电流(可定制)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

材料

航空铝

卡盘大小

6" ,360 度转动, 可微调

8"  ,360 度转动  ,    可微调

12",360 度转动 ,可微调

卡盘行程和精度

6"*6"  ,精度 1um

8"*8"  ,精度  1um

12"*12  ,精度 1um

卡盘气浮移动范围

气浮快速移动,三挡控制,X方向,Y方向,XY方向同时,便于快速定位 ,提高测试

卡盘升降功能

ChuckZ轴升降10mm,精度为1um

卡盘吸附方式

真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附   (适用于薄片或者射频器件)

背电极测试功能

样品台电学独立悬空   4mm 香蕉头插口

 

座平

U 型平台  ,镀镍  ,与探针座之间具备更强吸附力

最多可放置6个探针座

最多可放置8个探针座

最多可放置12个探针座

降平台

二阶抬杆一次性6mm,接触,分离;微调行程为50mm,分辨率为1um

 

显示系

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

率范围

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构 气浮升降    XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ,    精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500 万像素  ,    帧率 60fps ,带拍照、     录像、     测量功能

 

针座

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

电精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

力需求

220V/50HZ

详细配置方案可讨论后给出


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