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| 品牌 | 其他品牌 |
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QRUI-3 系列探针台产品简介：
是一款高配置综合型手动测试探针台, 该系列探针台设备配置丰富 ，基本可以满足一般实验室的全部测试要求。其样品台可以360度快速移动 ，便于快速定位样品位置 ，提高测试效率。并且具备载物台气浮快速移动三挡控制 ，快速实现器件定位；另platen抬杆功能，不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。这样就使的此设备在使用探针卡测试的时候非常方便。 此设备一般适用于大型实验室或者半导体工厂。
产品优势：
显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量光学成像质量。
Platen二阶抬杆，便于样品和探针快速分离 ，也可以用于探针卡的扎针。
可升级性强 ，最高可升级 220G 高频 ，也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等
载物台气浮快速移动，可快速定位测试样品，三挡控制，X,Y，XY方向，可实现单方向移动
QRUI-3 系列探针台详细参数：
技术参数 | 产品型号 | QRUI-3-150 | QRUI-3-200 | QRUI-3-300 |
探针台 本体 | 电压电流（可定制） | 500V/1A(标准) | 500V/1A(标准) | 500V/1A(标准) |
材料 | 航空铝 | |||
卡盘大小 | 6" ,360 度转动, 可微调 | 8" ，360 度转动 ， 可微调 | 12",360 度转动 ，可微调 | |
卡盘行程和精度 | 6"*6" ，精度 1um， | 8"*8" ，精度 1um， | 12"*12 ，精度 1um | |
卡盘气浮移动范围 | 气浮快速移动，三挡控制，X方向,Y方向，XY方向同时，便于快速定位 ，提高测试效率 | |||
卡盘升降功能 | Chuck可Z轴升降10mm，精度为1um | |||
卡盘吸附方式 | 真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附 (适用于薄片或者射频器件) | |||
背电极测试功能 | 具备 样品台电学独立悬空 ， 带 4mm 香蕉头插口 | |||
针座平 台 | 材质 | U 型平台 ，镀镍 ，与探针座之间具备更强吸附力 | ||
大小 | 最多可放置6个探针座 | 最多可放置8个探针座 | 最多可放置12个探针座 | |
升降平台 | 二阶抬杆一次性6mm，接触，分离；微调行程为50mm，分辨率为1um | |||
显示系 统 | 显微镜成像系统 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统 | ||
倍率范围 | 15X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构 ，气浮升降 XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | |||
CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素 ， 帧率 60fps ，带拍照、 录像、 测量功能 | |||
探针座 | 种类 | DMP-200/100/80/75 | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
机械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | |||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA/20fA | ||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等 | |||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 | ||
电力需求 | 220V/50HZ | |||
详细配置方案可讨论后给出
